激光清洗是利用不同波长的激光对不同材料起反应的特征来去除污染物的一种方法。激光清洗效果的评估分为2部分，污染物去除的干净程度和对基底材料的伤害程度。

污染物去除的干净程度评估方法主要有5种：

1.外观检查。通过肉眼或者显微镜观察清洗后的污染物是否有残留。

2.清洁度测试。使用清洁度 测试设备，如白光干涉仪，粗糙度 测试仪，提供定量数据，评估清洗效果。

3.成分分析。对清洗前后的表面成为进行化学分析，以确定污染物是否去除干净。比如使用光谱分析，x射线荧光分析。

4.功能性测试。对于一些关键部件，如发动机零件或电子元件，可以进行功能性测试，以评估清洗后部件的性能是否得到恢复或提高。

5.比较法。将激光清洗后的表面与传统清洗方法或未清洗的表面进行比较，观察清洗效果的差异。

对基底材料伤害程度的评估方法主要在有：

1.视觉检查：通过肉眼或显微镜观察基底材料的表面，检查是否有明显的裂纹、变形、变色或其他形式的损伤。

2.表面粗糙度测量：使用表面粗糙度测量仪器，如触针式粗糙度仪或光学干涉仪，测量基底材料的表面粗糙度。损伤程度可以通过比较清洗前后的粗糙度值来评估。

3.显微组织分析：通过金相显微镜或扫描电子显微镜观察基底材料的微观结构，检查是否有晶粒变形、晶界开裂或其他损伤迹象。

4.力学性能测试：进行拉伸试验、硬度测试或其他力学性能测试，以评估基底材料的强度、韧性和延展性等性能是否受到影响。

5.非破坏性检测技术：如超声波检测、涡流检测或 X 射线检测等非破坏性检测技术可以用于检测基底材料内部的损伤，如裂纹或缺陷。