激光除锈技术的研究以1998年作为分界线。1998年以前，对于激光除锈的研究非常少，全所所有国家都只投入了少量人力物力。 1998年至今，激光除锈技术发展突飞猛进。

1998年，新加坡国立大学的激光微处理研究小组，成功研究出首台工业级别的激光除锈机，并去除了硅片表面的污染颗粒，改研究团队对激光除锈的原理应用做了较为深入的研究，为激光除锈技术的发展做了大量的贡献。

进入21世纪以来，激光除锈技术得到全面的发展。 2000年，比利时学者G.Vereecke等研究激光除锈入射角度对激光清洗效果的影响。并实现了通过激光等离子体冲击波清洗的方法，清除了硅基表面微米级别的钨颗粒。

2002年，我国科学家徐军先生实验研究了激光除锈过程中的声波信号，实现了激光除锈效果的实时监测。分析表明激光除锈过程中产生的声波信号，包含了大量的激光除锈信息。当大量的氧化物被去除时，声波信号的强度高，声波信号的振幅最大值和表面形貌，脉冲数目等因素有关.

2003年，美国科学家Hooper利用脉冲激光等离子体冲击波成功清洗金属基体表面的聚乙烯颗粒，且证明激光焦点在基材上时清洗效率更高。证明了脉冲激光的光震动效应大于热效应，是剥离污染物的主要因素。

2005年，美国科学家Kim利用氩气激发的激光等离子体清洗效果比空气清洗效果更好。

2009年，韩国科学家D.jang 提出对等离子体膨胀进行几何限制，提升激光等离子体冲击波清洗效率。

2014年，英国曼彻斯特大学A.W.Alshaer团队使用脉冲100ns的Nd,yag激光设备对铝合金表面焊前处理，激光可以有效去除铝合金表面的氧化物。且证明激光清洗后焊接气孔明显减少，显著提升了焊接质量。

2018年，俄罗斯圣彼得堡州立工程大学V.A.Parfenov为了提升对激光清洗过程的监控，首次使用了光谱仪（LIBS）监控激光清洗的能力，开发了一种集成腔测光装置。通过率检测清洁表面的反射系数来检测表面污染物清洗的干净程度。

2019年，江苏大学采用高辽远先生采用COMSLO模拟仿真纳秒脉冲激光在铝合金表面除漆过程，得出激光除锈最佳清洗效率光斑搭接率为50%，实际实验和模拟操作一致。

2022年，顿磊激光公司首次组装紫外激光除锈机，绿光激光除锈机和二氧化碳激光除锈机，扩展了激光除锈设备种类。

激光除锈技术是一项高效，清洁，无污染的先进除锈技术，它自身的优势和不可替代性在许多领域正在取代传统除锈方法，具有广阔的前景。